“超分辨光刻装备项目”通过国家验收 可加工22纳米芯片 “超分辨光刻装备项目”通过国家验收 可加工22纳米芯片国家重大科研装备研制项目“超分辨光刻装备研制”29日通过验收。该光刻机由中国科学院光电技术研究所研制,光刻 2018-11-30